一、 儀器（qì）介紹

概述（shù）：

表麵潔淨度測試儀采接觸式，量測物體表（biǎo）麵的粒子數量（liàng）的設備!半導體，麵板廠，設備商（shāng）與有清潔部件廠（chǎng）商，驗證部件表（biǎo）麵是否幹淨的檢驗標準工（gōng）具，人的肉眼（yǎn）很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規的空氣（qì）檢測從而聚（jù）集（jí）在關鍵表麵或產品上，從而減（jiǎn）少產品（pǐn）的良率及降低產品的穩（wěn）定性。

執行標準：

ISO14644-9:2022 《潔（jié）淨室和相關（guān）的受控環境第 9 部分:顆粒濃度表麵清潔度的評估》  

二、 儀器參數

技（jì）術參（cān）數：

控（kòng）製係統（tǒng）：PLC

操作界麵：7寸觸（chù）摸（mō）屏

流量:28.3L/min+5% 內置流量傳感器，流量自動閉環控製

光（guāng）源: 進口激光二極管

測試粒（lì）徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可（kě）根據客戶需求定製，多八個通道）

飽和濃度:2000000/ft³（5%）

自淨時間:≤10min

測量次數:0-99次周期:0-99999秒（miǎo）測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒

潔（jié）淨度等（děng）級:1~9級

采樣頭規格:φ36.5

數據單位:m³、ft³

SCP等級（jí）:1級-8級

表麵類型（xíng）:圓形、方形（xíng）

表麵探（tàn）頭（tóu）:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm

數據單位:m²、ft²、in²、cm²、mm²

根據探頭的形狀（zhuàng）（如:圓形輸入直徑、方形（xíng）輸入長（zhǎng）寬尺寸），自動計算出表麵積（jī）。

打印功能（néng）:熱敏打印機

數據（jù）儲（chǔ）存:可儲存100000組數據

重量:15kg

外形尺寸（cùn）:300*400*450mm

電（diàn）源：AC220V 50Hz  150W （可選帶鋰電池組）

基本配置：

主機   一台

說明書 1份

合格證1份

簽收（shōu）單1份

電源（yuán）線1份

扳（bān）手1套

保修卡 一個

銘牌   一個