發(fā)布日期:2025-08-22 瀏覽次數:次
加熱防腐型勻膠機
一、技術原理與核心參數
加(jiā)熱(rè)防腐型旋轉塗覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學穩定性和(hé)極強的耐腐蝕性,能夠用於各種需要抗酸堿和有機溶劑(jì)的場(chǎng)合(hé)。儀器采用(yòng)先進的精密電(diàn)機,轉速能達到 12000 轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能(néng),本品還配有加熱(rè)組件,可以加熱到(dào) 200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完全可控。另(lìng)外本儀器采用觸控屏控製,可以預設勻膠曲線,大大(dà)簡化了使用(yòng)過程降低了學習成(chéng)本,十分適(shì)合實驗室選購(gòu)。
二、關鍵性能參數
項目 | 參數要(yào)求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵(miàn) | 彩色7寸(cùn)觸摸屏,中英文切換 |
速(sù)度範圍 | 0~ 12000rpm,精度±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s(空載(zǎi)) |
腔體材質 | 聚四氟乙烯 |
加熱溫度 | 室溫+200℃ |
傳動機構 | 精密電機+驅動器和高精度步進電機,傳動穩、噪音小; |
控溫方式 | AIP 智能控溫 |
滴膠方式 | 精密(mì)注射泵(0.01~5ml ,精度士 1% ,防回流設計) |
勻膠曲線 | 每條曲線 1000 段(duàn),共可儲存(cún) 30 條曲線 |
數據 | 支持(chí) USB 導出數據(jù) |
抽氣接口 | φ6mm 快擰(nǐng)接口 |
無(wú)油真空泵 | 50L/min, |
勻(yún)膠吸盤 | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質 |
打印機 | 嵌入式微型打印機 |
電壓電流 | AC220V,50Hz |
外形尺寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三,應用領域
光電子學領(lǐng)域:用於製備太陽(yáng)能電池、有機發光二極管(OLED)、有機太陽能電池(OPV)等器件(jiàn)的(de)薄膜(mó)塗層;
半導體與微電子製造:適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗(tú)布等工藝,支持(chí)最大12英寸晶圓處理;
材料科學:可製備金屬、半導體、氧化物(wù)及聚合物等材料的(de)均勻薄膜,尤其適合需要抗酸堿和有(yǒu)機溶劑的實驗(yàn)環境;
生物醫學(xué)領域:用於生物傳感(gǎn)器、生物芯片的塗層製備(bèi),聚四(sì)氟乙烯腔(qiāng)體設計(jì)確保化學穩定性與耐腐蝕性;
納米科技(jì):支持納(nà)米(mǐ)材料(liào)與納米薄膜的製備,高(gāo)精度控溫(室溫-200℃)和轉速調節(jiē)(10-12000轉/分(fèn)鍾)保障工藝穩定性。
四、基礎操作流程
A安裝與準備
連接設備
連接真空泵氣管與電源線,確保螺帽擰緊。
插入(rù)設備電源線並打開總開關。
安裝吸(xī)盤與片托(tuō)
根據樣品尺寸選擇吸(xī)盤,對(duì)準槽口安裝並固定螺絲。
將(jiāng)片托(tuō)凹槽對準電機軸頂絲垂直放置。
B參數設置
選擇勻膠(jiāo)方案
進入操作界麵,選擇預設方案(如5段式參數)或自定義參數(shù)。
設置轉速、時間與加速度
示例:第一段速度2000轉/分鍾,時間20秒(miǎo),加速度20001。
分段設置(如(rú)第(dì)二段3500轉(zhuǎn)/分鍾,第三段10000轉/分(fèn)鍾)。
溫度(dù)控製(如需加熱)
設置溫度範圍(0-200℃),支持手動或自動加熱模式。
C旋塗操作
放置樣品
將基片居中放置於片托,啟動真空泵吸附固定。
啟動勻膠
轉速穩定後(hòu)注入膠液,程序自動分段執行。
完成(chéng)與清潔
等待轉速歸零,關閉真空泵並取出樣品。
定期清(qīng)潔(jié)抽氣孔(滴酒精(jīng)維(wéi)護)。
D注意事項
防腐設計:聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕,避免接觸強氧化劑。
安全防(fáng)護:加熱模塊高溫,操作時勿觸碰。
五、合規性要(yào)求(核心標準)
六、儀(yí)器特點
1. 防腐設計
腔體材質采用聚四氟乙烯(PTFE)或聚丙烯(PP),抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕。
部分機型配備防濺廢料罐和排液管,防止腐蝕性液體(tǐ)汙染環境。
2. 加(jiā)熱與溫控功能(néng)
加熱範(fàn)圍覆蓋室溫至200℃,控溫精度±1-2℃,適用於高溫工藝(如光刻(kè)膠烘烤)。
支持分段控溫,部分機型集成抽廢氣功能,確保工藝穩定性。
3. 高精度勻膠性能
轉速範圍10-20000轉/分鍾,電機采用無刷伺服或德國進口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%)。
部分機型支持正反轉旋塗和分段編程,優化(huà)複(fù)雜工藝需求。
4. 智能化操作
配備觸摸屏控(kòng)製、藍牙(yá)通(tōng)信及PC端遠程控製軟件,支(zhī)持配方(fāng)存儲與掉電保護。
實時顯示轉(zhuǎn)速曲線、吸附力(lì)及報(bào)警功能(如進膠保護、吸附不足互鎖)。
5. 安全與兼容性
透明耐腐蝕蓋板(bǎn)(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機型(xíng)適配手套箱使用。
適配半導(dǎo)體、光電子等(děng)領域。
七,配置清單(dān)
主機1台;
測試軟件1套;
說明書1份;
合格證1份;
保修卡1份;
簽收單1份;
銘牌1塊;
電源線1根;
扳手1套;
宣傳冊若(ruò)幹;

加熱防腐型勻膠機
一、技術原理與核心參數(shù)
加熱防腐型旋轉塗(tú)覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學(xué)穩定(dìng)性和極強的(de)耐腐蝕性,能夠用於各種(zhǒng)需要抗酸堿和有機溶劑的場合(hé)。儀器采用先進的(de)精密電機,轉速能達到(dào) 12000 轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除(chú)了基(jī)本的旋塗功能,本品還配(pèi)有加熱組件,可以加熱到(dào) 200℃,由智能(néng)溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完全可控(kòng)。另外本儀器采用觸控屏控製,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使(shǐ)用過程降(jiàng)低了學習(xí)成本,十(shí)分適合實(shí)驗室選購。
二、關鍵性能參數
項目 | 參數要求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵 | 彩色7寸(cùn)觸摸屏,中(zhōng)英文切換 |
速度範圍 | 0~ 12000rpm,精度±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s(空載) |
腔體材質 | 聚四氟乙烯 |
加熱溫度 | 室溫(wēn)+200℃ |
傳動機(jī)構 | 精密(mì)電機+驅動器和高精度步進電機,傳動穩、噪音小; |
控溫方式 | AIP 智能控溫 |
滴膠方式(shì) | 精密注射泵(0.01~5ml ,精度士 1% ,防回(huí)流設計) |
勻膠曲線 | 每條曲線 1000 段,共可(kě)儲存 30 條曲線 |
數據 | 支持 USB 導出數據 |
抽氣接口 | φ6mm 快(kuài)擰接口 |
無油(yóu)真空泵 | 50L/min, |
勻膠吸盤 | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟(fú)材質 |
打印機 | 嵌入式微型打印機(jī) |
電壓電流 | AC220V,50Hz |
外形尺(chǐ)寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三,應用領域
光電子學領域:用於製備太陽能電池、有機發光二極管(OLED)、有機太陽(yáng)能電池(OPV)等器件的薄膜塗層;
半導體與微電子製造:適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗布等工藝,支持最大12英寸晶圓處理;
材料科學:可製備金屬、半導(dǎo)體、氧化物及聚(jù)合物等材料的均勻薄膜,尤其適合需要抗酸堿和有機溶(róng)劑的實驗環境(jìng);
生物醫學領域:用於生物傳感器、生物芯(xīn)片的塗層製備,聚四(sì)氟乙烯(xī)腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性;
納米科技:支(zhī)持納米(mǐ)材料(liào)與納米(mǐ)薄膜的製備,高精度控溫(室溫-200℃)和轉速調(diào)節(10-12000轉/分鍾)保障工藝穩定性。
四、基礎操作流(liú)程(chéng)
A安裝與準備
連接設備
連接真空泵氣管與(yǔ)電源(yuán)線,確保螺帽擰緊。
插入設備電源線並(bìng)打開(kāi)總開關。
安(ān)裝吸盤與片托(tuō)
根據樣品尺(chǐ)寸(cùn)選擇吸盤,對準槽口安裝(zhuāng)並固定螺絲。
將片(piàn)托凹槽對準電機軸頂絲垂直放置。
B參數設置
選擇勻膠方案
進入操作界麵,選(xuǎn)擇預設方案(如5段式參數)或自定(dìng)義參數。
設置轉速、時間與加速度
示例:第一段速(sù)度2000轉/分鍾(zhōng),時(shí)間20秒,加速度20001。
分段設置(如第二段(duàn)3500轉/分鍾,第三段(duàn)10000轉/分鍾)。
溫度控製(如需加熱)
設置溫度範圍(0-200℃),支(zhī)持手動(dòng)或自動加(jiā)熱模式。
C旋塗操作
放置樣品
將基片居(jū)中放置於片托,啟動真(zhēn)空泵吸附固定(dìng)。
啟動勻膠
轉速穩定後注入膠液,程序自動分段執行(háng)。
完成與清潔
等待轉速(sù)歸零,關閉真(zhēn)空泵並取出樣品。
定期清潔抽氣(qì)孔(滴酒精維護)。
D注意(yì)事項
防腐(fǔ)設計:聚四氟乙烯(xī)腔體可(kě)耐酸堿腐蝕,避免接(jiē)觸強(qiáng)氧化劑。
安全防護:加熱模塊高溫,操作時勿觸(chù)碰。
五、合規性要求(核心標準)
六、儀器特點
1. 防腐設計
腔體材質采(cǎi)用聚(jù)四氟乙烯(PTFE)或聚丙烯(PP),抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕。
部分機(jī)型配備防濺廢料罐和排液管,防止腐蝕性(xìng)液體汙染(rǎn)環境。
2. 加熱與溫控功能
加(jiā)熱範圍覆蓋(gài)室溫(wēn)至200℃,控(kòng)溫精度±1-2℃,適用於高溫工藝(如(rú)光(guāng)刻膠烘烤)。
支持分段控溫,部分機(jī)型集成抽廢氣功能,確保工藝(yì)穩定性。
3. 高精度(dù)勻膠性能
轉速範圍10-20000轉/分鍾,電機(jī)采用無刷伺服或德(dé)國進(jìn)口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%)。
部分機型支(zhī)持正反轉(zhuǎn)旋塗和分段編程,優化複雜工藝需求。
4. 智能化操作
配備觸摸屏控製、藍牙通信及(jí)PC端(duān)遠(yuǎn)程(chéng)控製軟件,支持配方(fāng)存儲與掉(diào)電保護。
實時顯示轉速曲線、吸附(fù)力(lì)及報警功能(néng)(如進膠保護、吸附(fù)不足互鎖)。
5. 安全與兼容性
透明耐腐蝕蓋板(bǎn)(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機型適配手套箱使用。
適配(pèi)半導體、光電子等領域。
七,配置清單
主機(jī)1台;
測試軟件1套;
說明書1份;
合格證1份;
保修卡1份;
簽收單1份;
銘牌1塊;
電源線1根;
扳手1套;
宣傳冊若幹;

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